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進入凈化車間的人員須進行凈化處理，這是確保潔凈度的一個重要措施。
人員凈化的內容隨凈化級別的不同而有差異，一般人員凈化有換鞋、更衣、洗澡和空淋等內容。上班經過這些凈化處理的順序雖較復雜，但對保障凈化車間內的潔凈度是很有必要的。
下班為了縮短時間，通常可以簡化出口程序。為這些凈化內容配置的生活間面積往往不同于一般工業企業生活輔助間。它具有對人員凈化要求高、程序多、使用人數少等特點。它的面積指標往往和凈化標準及凈化人員的數量有關。
凈化車間在人員凈化處理方面，空淋和水淋的配置有三種情況，一是只設水淋，不設空淋，要求天天洗澡，二是只設空淋，不設水淋，三是二者全設，定期淋浴。
我們認為兩者全設較為合適，尤其在多風砂和干燥的地區宜設水淋，既保障了個人衛生條件，又避免了潔凈工作服的表面浮塵帶入。
凈化車間通常設置水淋時，應避免強制通過式。此外，有些問題雖小，但也是不可忽略的；在多雨地區要考慮雨具存放和雨鞋洗刷問題，為了改善工作條件，有可能時宜配置紫外線燈具或適當增加新風量，凈化車間在工作人員較多時，要配置專門的洗衣、烘干、存放等。